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2024年1月6日发(作者：queueuserworkitem是什么意思)

标题：镀膜（6号楼）光弛Gener机工艺参数一览表

序号 工艺项目

烘烤温度(℃)

恒温时间

开镀真空度

TiO2充氧(Pa)

TiO2

5

镀膜

速率Å/s

SiO2扫描大小

SiO2环转速(rpm)

晶振片更换周期(罩)

防污板更换周期(罩)

枪灯丝更换期更换期

公转(R/min)

1#

2#

SiO2

MgF2

TA2O5

6

7

8

9

10

11

透亮工艺

蒙工艺

半透亮工艺

各机组工艺参数

2号

250/250/150

-

40min

2.0E-3 Pa

0.016±0.002

5

20

－

-

45×80

70

10

12

30

12

30

3号

-

-

40min

2.0E-3 Pa

0.0155±0.002

5

20

－

-

45×80

70

10

12

30

12

30

4号

250/250/150

-

40min

2.0E-3 Pa

0.015±0.002

5

20

－

-

35×90

70

10

12

30

12

30

5号

-

-

40min

2.0E-3 Pa

0.017±0.002

5

20

－

-

35×80

70

10

12

30

12

30

1

2

3

4

250/330/200 250/330/200 250/330/200 250/330/200

备注：对于灯丝、晶振片这类使用过程不确定因素较多的耗材，如在规定周期内更换须注明原因。

标记

处数

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日期

编制(日期)

标准化(日期)

会签(日期)

会签(日期)

会签(日期)

审核(日期)

批准(日期)


本文标签： 更换 工艺 灯丝 使用 参数

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